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Cyberoptics Corporation是一家全球性的三维(3D)传感器和检测和计量系统产品的开发商和制造商。该公司开发和制造WaferSense产品,这是一个无线、晶圆形传感器家族,提供半导体制造过程中的关键因素的测量。该公司产品包括SQ3000多功能系统、MX3000自动光学检测(AOI)系统、WX3000计量系统、微米像素3D纳米分辨率MRS传感器和检测系统。Q3000多功能系统允许在在线生产速度下检测和计量特征尺寸至50微米。MX3000AOI系统用于内存模块的3D检测,遵循制造过程的模拟步骤。微米像素的三维纳米分辨率MRS传感器,能够在高速下精确测量25微米以下的特征尺寸。WX3000计量和检测系统用于晶圆片和先进的封装应用。
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