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Axcelis Technologies Inc设计、制造和服务离子注入及其他用于半导体芯片制造的加工设备。该公司提供完整系列的高能、高电流和中电流注入机,可满足所有应用要求。除设备外,公司还提供广泛的售后生命周期产品和服务,包括二手工具、备件、设备升级、维护服务和客户培训。其Purion旗舰系统均基于一个通用平台,可实现种植体纯度、精度和生产率的结合。Purion产品将单个晶圆端站与先进的点光束架构(确保晶圆上的所有点都以相同的光束角度看到相同的光束条件)相结合,使过程控制能够以高生产率优化设备性能和产量。该公司向世界各地的半导体芯片制造商销售其产品。
名称 | 年龄 | 任期 | 标题 |
---|---|---|---|
John T. Kurtzweil | 68 | 2015 | Independent Director |
Tzu-Yin Chiu | 68 | 2018 | Independent Director |
Thomas St. Dennis | 70 | 2015 | Independent Director |
Dipti Vachani | 50 | 2022 | Independent Director |
Russell J. Low | 53 | 2016 | CEO, President & Director |
Jeanne Quirk | 54 | 2022 | Independent Director |
Gregory B. Graves | 63 | 2024 | Director |
Necip Sayiner | 58 | 2024 | Director |
Jorge Luis Titinger | 63 | 2019 | Independent Chairman |
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